1981年创刊，月刊，是由中国真空学会主办的一本工业类杂志，荣获"中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊"等荣誉。发文领域涵盖一般工业技术、理学、电子电信等方向。
《真空科学与技术学报》杂志由中国科学技术协会主管，中国真空学会主办的学术性期刊。自创刊以来，杂志始终立足工业通用技术及设备科技前沿聚焦国内外工业通用技术及设备发展动态，致力于打造集学术研究、技术交流与行业资讯于一体的高端传播平台。
《真空科学与技术学报》栏目主要设置有综述评述、研究快报、研究论文等多个栏目。杂志选题新颖，视角前瞻，既关注基础理论研究，也重视应用成果，兼顾学术深度与传播广度，具有信息量大、时效性强、实用性突出的特点，荣获 "中国学术期刊（光盘版）全文收录期刊、中国优秀期刊遴选数据库、北大图书馆收录期刊、中国科技期刊优秀期刊、中国期刊全文数据库（CJFD）" 等荣誉。
| 年份 | 影响因子 | 年发文量 | 被引半衰期 | 引用半衰期 | 期刊他引率 |
|---|---|---|---|---|---|
| 2022 | 0.45 | 132 | 6 | 5.65 | 0.85 |
| 2021 | 0.53 | 177 | 5.68 | 5.32 | 0.78 |
| 2020 | 0.56 | 216 | 5.39 | 4.8 | 0.81 |
| 2019 | 0.44 | 197 | 5.15 | 5.55 | 0.81 |
| 2018 | 0.33 | 184 | 5.16 | 6.57 | 0.82 |
| 2017 | 0.38 | 209 | 4.64 | 5.92 | 0.72 |
| 领域名称 | 发文量 |
|---|---|
| 一般工业技术 | 1519 |
| 理学 | 1049 |
| 电子电信 | 701 |
| 金属学及工艺 | 411 |
| 机械工程 | 222 |
| 电气工程 | 191 |
| 冶金工程 | 134 |
| 化学工程 | 120 |
| 航空宇航科学技术 | 109 |
| 核科学技术 | 90 |
| 领域名称 | 发文量 |
|---|---|
| 理学 / 物理 | 911 |
| 一般工业技术 / 真空技术 | 781 |
| 电子电信 / 物理电子学 | 591 |
| 理学 / 固体物理 | 494 |
| 一般工业技术 / 材料科学与工程 | 419 |
| 金属学及工艺 / 金属学 | 358 |
| 金属学及工艺 / 金属表面处理 | 209 |
| 理学 / 等离子体物理 | 162 |
| 理学 / 电子物理学 | 134 |
| 冶金工程 / 冶金物理化学 | 87 |
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